CMP固定環(huán)廠家-多種材質(zhì)加工方案品質(zhì)保證
常州瑞璐有限公司擁有十多年的特種工程塑料peek注塑成型的經(jīng)驗,專門致力于為復(fù)雜環(huán)境,惡劣工況提供高性能特種塑料零件,推動特種塑料在各行業(yè)的應(yīng)用,其中協(xié)助多家半導(dǎo)體市場的客戶開發(fā)新應(yīng)用,生產(chǎn)模具原型,提供注塑加工工藝支持。
我們擁有完整的全工藝鏈加工條件,從手辦打樣,模具制作,精密注塑到成品裝配,自有生產(chǎn)技術(shù)保證所有環(huán)節(jié)自主可控,針對客戶任何需求和創(chuàng)新迭代,都能夠做到第一時間響應(yīng)。
CMP固定環(huán)
作為半導(dǎo)體制造工藝的一個重要階段,化學(xué)研磨(CMP)需要具備嚴(yán)密的工藝控制-嚴(yán)格的規(guī)定公差和高質(zhì)量的表面形狀和平面。產(chǎn)品和電子設(shè)備的小型化進(jìn)一步對工藝性能提出了更高的要求;所有的這些因素變得越來越苛刻,因而對CMP固定環(huán)元件的性能要求也越來越高。
CMP固定環(huán)是用來在研磨過程中對晶圓進(jìn)行固定的。它能夠產(chǎn)生較低的拋光率,光滑的表面,嚴(yán)格的平面公差,較高的材料穩(wěn)定性,較低的震動屬性,但是前提條件是CMP固定換的材料選擇和設(shè)計要合理,尤其是CMP固定環(huán)的底面,如果十分平坦,則晶圓的產(chǎn)量也會相應(yīng)增加。
半導(dǎo)體晶圓的拋光生產(chǎn)屬于尖端領(lǐng)域,正是因為這種特有的屬性加持,使得在加工材料的選擇上更是十分苛刻,peek作為特種工程高溫塑料首當(dāng)其用,被認(rèn)為是目前市場上最合適的材料之一,它擁有一系列獨特的性能,如優(yōu)異的尺寸穩(wěn)定性,機(jī)械性能,耐化學(xué)腐蝕性,耐磨性和成型加工型,耐疲勞性等。