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peek光罩盒-PEEK加工廠家


PEEK光罩盒

光罩是芯片制造中光刻工藝使用的圖形母版,以石英玻璃為基板并涂布鉻金屬遮光,利用曝光原理,光源通過光罩投影至硅晶圓可曝光顯示特定圖案。任何附著于光罩上的塵?;蚬蝹詴е峦队俺上竦馁|(zhì)量劣化,因此需避免光罩的污染,以及避免因碰撞或摩擦等產(chǎn)生微粒影響光罩的潔凈度。

為避免光罩起霧、摩擦或位移造成損傷,光罩盒因此一般采用抗靜電、低脫氣、堅固耐用的材料。

PEEK 高硬度、極少的顆粒產(chǎn)生量、高潔凈度、抗靜電、耐化學腐蝕性、耐磨損性、耐水解性、非常優(yōu)異的電介質(zhì)強度及出色的耐輻射性能等特性,在生產(chǎn)、傳送以及處理光罩過程中,可使光罩片存儲在低脫氣和低離子污染的環(huán)境中。



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