PEEK晶圓載具-peek零件加工

發(fā)布時間：2023-04-26 13:24:43

晶圓載具顧名思義就是用來裝載晶圓，有晶圓承載盒、晶圓傳送盒、晶舟等。晶圓存放在運輸盒內(nèi)的時間在整個生產(chǎn)過程中占比很高，晶圓盒本身的材質、質量和干凈與否都可能會對晶圓質量產(chǎn)生或大或小的影響。

晶圓載具一般采用耐溫、機械性能優(yōu)異、尺寸穩(wěn)定性以及堅固耐用、防靜電、低釋氣、低析出、可回收再利用的材料，不同制程采用的晶圓載具所選用的材質有所不同。

PEEK可用于制作一般傳輸制程用載具，一般采用抗靜電PEEK，PEEK擁有眾多優(yōu)異性能，耐磨性、耐化學腐蝕性、尺寸穩(wěn)定性、抗靜電性和低脫氣，有助于防止顆粒污染并提高晶圓搬運、存儲和轉移的可靠性。